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晶圓出貨時(shí)如何儲存與運(yùn)輸?

2024/04/11
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知識星球(星球名:芯片制造與封測社區(qū))里的學(xué)員問:晶圓晶圓廠完成全部工序后,存儲和運(yùn)輸有哪些特別的要求,是否需要特殊環(huán)境包裝呢?

存儲一般是放在氮?dú)夤窭铮獨(dú)夤裢ǖ挠懈呒兊獨(dú)?,且氮?dú)夤窨梢钥刂茲穸扰c溫度,濕度在20-24℃,濕度30%-50%,具體要根據(jù)現(xiàn)場情況來定。??運(yùn)輸一般需要將晶圓放在晶圓盒中,晶圓盒會放在防靜電的袋子里,袋子里會被抽真空,之后裝晶圓盒的袋子會放入箱子中,箱子中會有軟墊等緩沖材料保護(hù),當(dāng)然這些在無塵車間完成的。如果有條件,也可以在運(yùn)輸車輛里創(chuàng)造氮?dú)猓販乜貪竦沫h(huán)境。其他的比如標(biāo)簽一定要貼好,以便跟蹤。晶圓儲存與運(yùn)輸要注意的因素有哪些?

清潔度:任何可能污染晶圓的氣體或顆粒都應(yīng)避免,因此要抽真空或在高純氮?dú)庵小?/h4>

溫度和濕度:極端的溫度變化會導(dǎo)致晶圓材料發(fā)生變化,而過高的濕度導(dǎo)致晶圓表面吸水,而過低的濕度增加靜電荷的積累。

物理防護(hù):晶圓在運(yùn)輸過程中需要防止碰撞和壓力,外力很容易造成晶圓的破碎,因此需要用緩沖材料包裝。

靜電:靜電放電會燒毀芯片,因此需要使用防靜電的包裝材料,在包裝時(shí)也要對晶圓做防靜電處理。

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