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離子注入

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離子注入是指當(dāng)真空中有一束離子束射向一塊固體材料時(shí),離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面,這個(gè)現(xiàn)象叫做濺射;而當(dāng)離子束射到固體材料時(shí),從固體材料表面彈了回來,或者穿出固體材料而去,這些現(xiàn)象叫做散射;另外有一種現(xiàn)象是,離子束射到固體材料以后,受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來,并最終停留在固體材料中的這一現(xiàn)象叫作離子注入。

離子注入是指當(dāng)真空中有一束離子束射向一塊固體材料時(shí),離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面,這個(gè)現(xiàn)象叫做濺射;而當(dāng)離子束射到固體材料時(shí),從固體材料表面彈了回來,或者穿出固體材料而去,這些現(xiàn)象叫做散射;另外有一種現(xiàn)象是,離子束射到固體材料以后,受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來,并最終停留在固體材料中的這一現(xiàn)象叫作離子注入。收起

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    繼續(xù)發(fā)布一下半導(dǎo)體設(shè)備的供應(yīng)商數(shù)據(jù)吧今天在我的數(shù)據(jù)庫里選了半天,還是挑了離子注入和CMP兩種設(shè)備。這兩種設(shè)備在技術(shù)路徑上完全不一樣,能夠同時(shí)提供兩種設(shè)備的廠商也只有美國的AMAT和我國的華海清科不過由于在半導(dǎo)體前道制造領(lǐng)域的各種設(shè)備里,這兩類設(shè)備的市場都相對較小,導(dǎo)致供應(yīng)商數(shù)量偏少,單獨(dú)陳列的話顯得太單薄,
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