• 東方晶源深耕電子束量測檢測核心技術(shù) “三箭齊發(fā)”新一代EOS上“機”

  電子束量測檢測設(shè)備是芯片制造裝備中除光刻機之外技術(shù)難度最高的設(shè)備類別之一，深度參與光刻環(huán)節(jié)、對制程節(jié)點敏感并且對最終產(chǎn)線良率起到至關(guān)重要的作用。其最為核心的模塊為電子光學(xué)系統(tǒng)（Electron?Optical?System，簡稱EOS），決定設(shè)備的成像精度和質(zhì)量， 進而決定設(shè)備的性能。 作為電子束量測檢測領(lǐng)域的先行者、領(lǐng)跑者，東方晶源始終堅持自主研發(fā)，不斷深化研發(fā)投入、加速技術(shù)創(chuàng)新步伐，致力于為客

  與非網(wǎng)編輯

  1765

  2024/08/21

  半導(dǎo)體工藝 電子束

  
• lift off工藝為什么常用蒸發(fā)的方式鍍膜？

  學(xué)員問：我觀察到晶圓廠中l(wèi)ift off工藝，鍍膜都是用的電子束蒸發(fā)的方式，很少有用磁控濺射的方式，為什么？

  TOM聊芯片智造

  1957

  2024/08/13

  電子束 Lift off工藝
• 光刻技術(shù)，有了新選擇

  光刻工藝是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個重要步驟，該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結(jié)構(gòu)，然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到所在襯底上。

  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫

  3348

  2024/08/08

  光刻技術(shù) 電子束

  
• 替代EUV光刻機，有戲嗎？

  除了積極跟蹤EUV光刻機的開發(fā)進程，芯片廠商也在尋找能夠替代EUV光刻機的技術(shù)。被寄予厚望的不僅僅是電子束光刻技術(shù)。鎧俠力推NIL壓印工藝，聲稱有望在2025年實現(xiàn)5nm工藝；臺積電采用DUV光刻技術(shù)同樣實現(xiàn)了7nm工藝，并聲稱DUV光刻技術(shù)可以也可以實現(xiàn)5nm工藝。

  中國電子報

  1982

  2022/09/30

  EUV光刻機 電子束
• 電子束焊接原理

  電子槍中的陰極由于直接或間接加熱而發(fā)射電子，該電子在高壓靜電場的加速下再通過電磁場的聚焦就可以形成能量密度極高的電子束，用此電子束去轟擊工件，巨大的動能轉(zhuǎn)化為熱能，使焊接處工件熔化，形成熔池，從而實現(xiàn)對工件的焊接。

  cestbona

  1077

  2021/04/26

  電子束
• 電子束焊接

  電子束焊接是一種高能量密度焊接方法，利用對產(chǎn)生的高速電子束進行聚焦，通過在工件上產(chǎn)生熱量來實現(xiàn)材料的熔接。這項技術(shù)在現(xiàn)代制造業(yè)中扮演著重要角色，具有獨特的優(yōu)勢和應(yīng)用領(lǐng)域。

  eefocus_3901714

  6216

  2024/10/22

  焊接 電子束
• 電子束曝光

  電子束曝光是一種先進的微影技術(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、納米制造等領(lǐng)域。通過使用高速電子束對待加工物進行準確的曝光，可以實現(xiàn)微小尺寸和復(fù)雜結(jié)構(gòu)的制造，具有極高的分辨率和精度。

  eefocus_3781508

  5207

  2023/07/26

  電子束

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