賽微電子近日與合肥高新區(qū)管委會(huì)簽署《合作框架協(xié)議》，擬在合肥高新區(qū)投資建設(shè)12英寸MEMS制造線項(xiàng)目（合肥FAB6），總投資51億元人民幣，擬建設(shè)一座設(shè)計(jì)月產(chǎn)能為2萬(wàn)片12英寸MEMS產(chǎn)線。同時(shí)協(xié)議約定，若本項(xiàng)目未通過國(guó)家相關(guān)部委審批同意，本合作框架協(xié)議自動(dòng)失效。

合肥FAB6注冊(cè)資本擬設(shè)定為40億元，計(jì)劃乙方占股約36%(出資約14.4億元)、甲方聯(lián)合市區(qū)下屬國(guó)資平臺(tái)占股約24%（出資約10億元）、項(xiàng)目核心團(tuán)隊(duì)持股約10%（出資約4億元）、其他社會(huì)資本占股合計(jì)約30%（出資約12億元）。

《合作框架協(xié)議》中指出，賽微電子在瑞典的全資子公司Silex（FAB1&FAB2）訂單飽滿、產(chǎn)銷兩旺，且正持續(xù)擴(kuò)充產(chǎn)能；根據(jù)公司產(chǎn)能的全球化戰(zhàn)略布局，Silex還于2021年12月與德國(guó)Elmos Semiconductor SE簽署了《股權(quán)收購(gòu)協(xié)議》，收購(gòu)其位于德國(guó)北萊茵威斯特法倫州多特蒙德市（Dortmund, North Rhine Westphalia, Germany）的汽車芯片制造產(chǎn)線相關(guān)資產(chǎn)（德國(guó)FAB5），該交易目前正在申請(qǐng)德國(guó)政府的批準(zhǔn)；公司位于北京的控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司負(fù)責(zé)建設(shè)運(yùn)營(yíng)的“8英寸MEMS國(guó)際代工線”（北京FAB3）已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)并持續(xù)進(jìn)行良率提升及產(chǎn)能爬坡，已與全球尤其是中國(guó)本土各領(lǐng)域多家MEMS設(shè)計(jì)廠商開展合作，產(chǎn)品已涉及通訊、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費(fèi)電子等領(lǐng)域；當(dāng)前北京FAB3正在進(jìn)行二期擴(kuò)產(chǎn)，但根據(jù)最新情況預(yù)計(jì)，在2024/2025年其3萬(wàn)片/月的總產(chǎn)能將達(dá)到滿產(chǎn)狀態(tài)。

合肥FAB6將是合肥高新區(qū)的第一條12英寸生產(chǎn)線，至此合肥經(jīng)開區(qū)、合肥高新區(qū)、合肥新站高新區(qū)三大集成電路發(fā)展核心區(qū)都的擁有了12英寸晶圓生產(chǎn)基地，經(jīng)開區(qū)具有戰(zhàn)略布局意義的長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)（DRAM），新站高新區(qū)具有晶圓代工企業(yè)晶合集成（LCD驅(qū)動(dòng)、CIS、MCU），高新區(qū)將興建12英寸MEMS生產(chǎn)線。

目前全球主流MEMS生產(chǎn)線都是6英寸和8英寸，更多的6英寸生產(chǎn)線正在升級(jí)為8英寸生產(chǎn)線。12英寸生產(chǎn)線目前還在驗(yàn)證中，法國(guó)CEA-Leti、美國(guó)Skorpios和上海芯物科技都在運(yùn)行12英寸MEMS中試線。

意法半導(dǎo)體整合Metalenz的超表面光學(xué)技術(shù)到其位于法國(guó)克洛爾（Crolles）的12英寸晶圓生產(chǎn)線的衍射光學(xué)制造工藝中，充分利用意法半導(dǎo)體在近紅外光學(xué)傳感前沿市場(chǎng)日益強(qiáng)大的地位，意法半導(dǎo)體在飛行時(shí)間（ToF）接近傳感器和距離傳感器市場(chǎng)處于遙遙領(lǐng)先的地位，出貨量已超過10億顆。

據(jù)悉，博世2021年在德國(guó)建成投產(chǎn)的12英寸生產(chǎn)線將會(huì)在2022年開始MEMS試生產(chǎn)。