知識(shí)星球(星球名:芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū),點(diǎn)擊加入)里的學(xué)員問(wèn):在12吋/8吋 fab中,是嚴(yán)禁使用乙醇酒精做主清洗劑的,為什么?
IPA在晶圓廠中的應(yīng)用?IPA是異丙醇,主要用于晶圓清洗,刻蝕,設(shè)備裝機(jī),PM等。幾乎出現(xiàn)在晶圓廠各個(gè)區(qū)域中。
異丙醇與酒精的性質(zhì)對(duì)比?
項(xiàng)目 | IPA(異丙醇) | 乙醇(Ethanol) |
---|---|---|
化學(xué)式 | C?H?O | C?H?O |
極性 | 中等極性 | 極性較強(qiáng) |
沸點(diǎn) | 82.6°C | 78.4°C |
溶解性 | 與水、醇、酮類完全互溶 | 同樣與水、醇類互溶 |
氣味 | 刺鼻 | 相對(duì)溫和 |
揮發(fā)速度 | 稍慢于乙醇 | 稍快于IPA |
吸水性 | 強(qiáng) | 更強(qiáng) |
干燥性(殘留水能力) | 更容易置換水分 | 殘留水更多、干燥性差一些 |
為什么用IPA不用酒精?
1,SEMI G5 級(jí) IPA 的純度水平通常超過(guò) 99.9999%(六個(gè)九的純度),而乙醇幾乎無(wú)法從共沸物中提取完全無(wú)水狀態(tài),常為“分析純/試劑級(jí)”,天生難達(dá)晶圓級(jí)的超凈標(biāo)準(zhǔn)。
2,IPA揮發(fā)速度適中,能在表面均勻蒸發(fā),不易形成“干斑”或水痕;與 DI水形成 azeotrope(共沸物),適合 Marangoni 干燥。
3,IPA的極性比乙醇略低,與有機(jī)溶劑(NMP,ACE等)、光刻膠殘留等相容性更好。
那酒精真的不能用嗎?并非絕對(duì)不能用,但通常在以下情況中才會(huì)用到:低端或?qū)嶒?yàn)用玻璃器具清洗;
實(shí)驗(yàn)室級(jí)封裝前初步擦拭;
PCB行業(yè);
需要臨時(shí)清洗但不要求電子級(jí)純度的情況。
免費(fèi)加入半導(dǎo)體行業(yè)細(xì)分群:光刻,鍍膜,cmp,濕法,封裝,干刻,外延等,便于技術(shù)交流。添加Tom聯(lián)系方式,拉進(jìn)群。