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晶圓廠為什么常用IPA而不用酒精?

05/15 08:43
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知識(shí)星球(星球名:芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū),點(diǎn)擊加入)里的學(xué)員問(wèn):在12吋/8吋 fab中,是嚴(yán)禁使用乙醇酒精做主清洗劑的,為什么?

IPA在晶圓廠中的應(yīng)用?IPA是異丙醇,主要用于晶圓清洗,刻蝕,設(shè)備裝機(jī),PM等。幾乎出現(xiàn)在晶圓廠各個(gè)區(qū)域中。

異丙醇與酒精的性質(zhì)對(duì)比?

項(xiàng)目 IPA(異丙醇) 乙醇(Ethanol)
化學(xué)式 C?H?O C?H?O
極性 中等極性 極性較強(qiáng)
沸點(diǎn) 82.6°C 78.4°C
溶解性 與水、醇、酮類完全互溶 同樣與水、醇類互溶
氣味 刺鼻 相對(duì)溫和
揮發(fā)速度 稍慢于乙醇 稍快于IPA
吸水性 強(qiáng) 更強(qiáng)
干燥性(殘留水能力) 更容易置換水分 殘留水更多、干燥性差一些

為什么用IPA不用酒精?

1,SEMI G5 級(jí) IPA 的純度水平通常超過(guò) 99.9999%(六個(gè)九的純度),而乙醇幾乎無(wú)法從共沸物中提取完全無(wú)水狀態(tài),常為“分析純/試劑級(jí)”,天生難達(dá)晶圓級(jí)的超凈標(biāo)準(zhǔn)。

2,IPA揮發(fā)速度適中,能在表面均勻蒸發(fā),不易形成“干斑”或水痕;與 DI水形成 azeotrope(共沸物),適合 Marangoni 干燥。

3,IPA的極性比乙醇略低,有機(jī)溶劑(NMP,ACE等)、光刻膠殘留等相容性更好。

那酒精真的不能用嗎?并非絕對(duì)不能用,但通常在以下情況中才會(huì)用到:低端或?qū)嶒?yàn)用玻璃器具清洗;

實(shí)驗(yàn)室級(jí)封裝前初步擦拭;

PCB行業(yè);

需要臨時(shí)清洗但不要求電子級(jí)純度的情況。

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