東土科技持續(xù)加快自主研發(fā)和創(chuàng)新的步伐,不斷提升解決方案完整性和自主可控能力,在剛剛過去的2024年,東土科技智能控制器產(chǎn)品和方案在半導體行業(yè)關鍵設備領域實現(xiàn)了批量應用。憑借在半導體行業(yè)關鍵設備的應用方案,東土科技榮獲CMCD年度運動控制領域行業(yè)應用獎。
這是行業(yè)對東土創(chuàng)新能力、技術實力和市場表現(xiàn)的權威認可,也見證了我們對卓越品質的不懈追求和對客戶需求的深刻理解,該方案之所以在高技術要求的半導體行業(yè)獲得認可,主要是因為如下特性:
靈活高效的基礎架構
東土科技的NewPre智能控制器產(chǎn)品為PC架構,其運算快、存儲空間大、靈活部署的特點,能為多種運算平臺、AI技術應用(策略優(yōu)化、預測性維護)、數(shù)字孿生仿真技術應用提供基礎條件,這樣的架構也為工業(yè)智能化和自動化水平的提升提供了有力支持。
該架構得益于Intewell(鴻道)操作系統(tǒng)的底層支撐,Intewell基于微內核架構設計,實時響應性能達到微秒級,半導體關鍵制程設備對生產(chǎn)質量要求極高,任何缺陷都可能導致產(chǎn)品失效,Intewell這種虛擬化、高實時,確定性、高可靠的特點,非常適合處理晶圓加工控制過程。
實時+非實時底層構型,并兼具控制功能
實時+非實時底層構型兼容MaVIEW控制軟件,可以實現(xiàn)控制程序的多任務、多語言編譯和運行,精密控制設備運行,例如,在薄膜沉積領域,實時系統(tǒng)中運行的控制程序需要進行溫度和壓力的精確控制,防止前驅體低溫未完全活化、冷凝和高溫分解,還需控制沉積速率確保充分覆蓋和填充,控制系統(tǒng)需要進行多任務同步才能保證精確執(zhí)行工藝步驟。
功能和數(shù)據(jù)接口的定制化
NewPre系列智能控制器支持廠家自定義數(shù)據(jù)API與實時系統(tǒng)的無縫銜接,為廠家提供共享內存通道,實現(xiàn)1ms級別周期交互,軟件系統(tǒng)內部功能組件和數(shù)據(jù)接口可以自由定義和組合,使半導體設備腔室的過程數(shù)據(jù)經(jīng)過實時與非實時之間的數(shù)據(jù)接口進行傳輸,這為半導體設備廠商從控制角度做工藝優(yōu)化和技術革新提供了條件,使系統(tǒng)更加實時、交互更加方便、運行更加流暢,從而大幅提升設備穩(wěn)定性和可靠性。
便捷的通訊接口
除了常規(guī)配置的以太網(wǎng)、USB等PC常見接口外,還可以進行虛擬化配置和軟協(xié)議棧加載,使多設備交互更靈活,熱連接功能可靈活快速切換EtherCAT在線從站,特別適應半導體設備,另外,半導體設備通常布設若干串口設備,以往用一臺串口服務器匯總后再上傳到上位機,這種方式非常浪費空間,集成度低,故障風險大,控制器多串口配置可以實現(xiàn)多路串口從站直接與控制器對接,提高集成度,減少延時,節(jié)約空間,降低故障風險,更加穩(wěn)定可靠。
智能控制器還支持自主技術的AUTBUS總線,AUTBUS由東土科技主導推出,已建立國際標準和國家標準,可以解決復雜系統(tǒng)IPV6 統(tǒng)一尋址問題和確定性通信問題,實現(xiàn)了控制協(xié)議和工業(yè)控制協(xié)議全IP化,支撐半導體行業(yè)工業(yè)控制通信的多設備互聯(lián)互通。
l散熱極致優(yōu)化,體積縮小到傳統(tǒng)設備的一半
半導體生產(chǎn)對潔凈車間要求高,自動化組件的空間占用要毫厘必爭,在以往的控制系統(tǒng),主要控制核心為多臺工控機和嵌入式PLC,空間占用大,智能控制器將工控機的功能和高性能PLC的功能集成,經(jīng)過精細設計的散熱方案,使控制器體積占用僅為原來的一半,提高了潔凈空間利用率。
l自主可控
當前,核心控制軟件在提升半導體生產(chǎn)制造效率、提高產(chǎn)品質量效能等方面的重要作用愈發(fā)突出,智能控制器內嵌的Intewell操作系統(tǒng)和MaVIEW控制工具軟件為東土全自主研發(fā),Intewell已通過了多個權威機構的第三方測評,內核及主要功能模塊自主率達到100%,MaVIEW軟件使用自主開發(fā)的編譯器、運行態(tài)控制軟件,能夠完美協(xié)同半導體設備的控制系統(tǒng)開發(fā)過程,目前已實際應用于半導體晶圓廠,從而為行業(yè)設備注入更多自主核心技術。
從2013年開始,公司就提出了“軟件定義未來、承載人工智能”的發(fā)展戰(zhàn)略,在當前國家新型工業(yè)化發(fā)展戰(zhàn)略的大背景下,東土科技承擔著國家“新型工業(yè)操作系統(tǒng)”的開發(fā)重任, 目前已實現(xiàn)了AI大模型與工業(yè)機器人、大模型與自動化機臺的融合系統(tǒng)構建,成功將AI技術應用到運動控制任務中,為客戶創(chuàng)造更多價值。展望未來,東土科技作為“中國PC控制引領者”將堅持走“國產(chǎn)自主可控”的發(fā)展道路,與眾多伙伴攜手,用技術創(chuàng)新為國產(chǎn)半導體裝備注入“自主魂”。